ဓာတ်ငွေ့မိတ်ဆက်
Ethylsilane သည် ဓာတုဗေဒဖော်မြူလာ Si2H6 ပါရှိသော inorganic ဒြပ်ပေါင်းဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် အရောင်ကင်းစင်သော၊ ဖောက်ထွင်းမြင်ရပြီး အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်ပြီး အခန်းအပူချိန်နှင့် ဖိအားများတွင် မနှစ်မြို့ဖွယ်နှင့် ယားယံစေသောအနံ့များပါရှိသည်။ ၎င်းတွင် silane နှင့် ဆင်တူသော ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများ ရှိသော်လည်း ၎င်း၏ ဓာတ်ပြုမှုသည် silane ထက် ပိုမိုအားကောင်းသည်။ ၎င်းသည် silane ထက် မတည်မငြိမ်ဖြစ်ပြီး အခန်းအပူချိန်တွင် ဆီလိန်းနှင့် ဟိုက်ဒရိုဂျင်အဖြစ်သို့ ဖြည်းညှင်းစွာ ပြိုကွဲသွားပါသည်။ 300-500 ℃ တွင် SiH4၊ SinHm၊ H2 တွင် ပြိုကွဲသွားပြီး အလင်းရောင်အောက်တွင်လည်း ပြိုကွဲသည်။ ဆိုလာဆဲလ်များ၊ ဓါတ်ပြုလွယ်သော ရိုတာရီပြွန်များ၊ amorphous ဆီလီကွန်ရုပ်ရှင်များ၊ epitaxial ကြီးထွားမှု၊ အောက်ဆိုဒ်ရုပ်ရှင်များ၊ နိုက်ထရိုက်ရုပ်ရှင်များ၊ ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်းနှင့် အခြားရှုထောင့်များတွင် အဓိကအသုံးပြုသည်။
အခြေခံဂုဏ်သတ္တိများ
Ethylsilane သည် အရောင်ကင်းစင်သော ဖောက်ထွင်းမြင်ရသည့်အရည်ဖြစ်ပြီး အခန်းအပူချိန်အောက်တွင် မီးလောင်သည့်အမှတ်ဖြင့် လေထဲတွင် အလိုအလျောက် လောင်ကျွမ်းသွားပါသည်။ ၎င်းသည် လေနှင့်ထိတွေ့သောအခါတွင် SiH4 နှင့် H2 သို့ ချက်ချင်းလောင်ကျွမ်းပြီး ပြိုကွဲသွားပါသည်။ လောင်ကျွမ်းမှု ပြင်းအားအကွာအဝေးသည် ကျယ်ပြန့်ပြီး ပြင်းအား 0.2% အထက်တွင် လောင်ကျွမ်းနေစဉ် မီးတောက်တစ်ခု ထုတ်လွှတ်ပါသည်။ အာရုံစူးစိုက်မှု 0.2% အောက်တွင်ရှိနေသောအခါ အဖြူရောင် SiO2 ကိုထုတ်လုပ်ရန် ဓာတ်တိုးတုံ့ပြန်မှုကို လုပ်ဆောင်သည်။ ကလိုရင်းဓာတ်ငွေ့တွင် ပေါက်ကွဲလောင်ကျွမ်းခြင်း။ ဟေလိုဂျင်ဓာတ်ငွေ့များဖြင့် ပေါက်ကွဲထွက်တတ်သော်လည်း အပူချိန်နိမ့်ပါက၊ halogenation အတန်အသင့် လုပ်ဆောင်ပါ။ SF6 နှင့် ထိတွေ့ပါက ပေါက်ကွဲလိမ့်မည်။ ကာဗွန် tetrachloride နှင့် chloroform တို့နှင့် ပြင်းထန်သော တုံ့ပြန်မှု။ silane နှင့် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ထုတ်လုပ်ရန် အယ်လ်ကာလီသတ္တုများနှင့် ပြဒါးသတ္တုစပ်များဖြင့် တုံ့ပြန်ပြီး ပြိုကွဲသွားပါသည်။ H2 ကင်းစင်စေရန် ကော့စတစ်ပိုတက်စီယမ်နှင့် တုံ့ပြန်ပါ။ ၎င်းသည် သန့်စင်သောရေနှင့် အက်ဆစ်တို့နှင့် မတုံ့ပြန်သော်လည်း ဆီလီကိတ်နှင့် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ထုတ်လုပ်ရန် အယ်ကာလီနှင့် ဓာတ်ပြုသည်။ ဖန်ခွက်မှ ပျော်ဝင်နေသော အယ်လကာလီ ပမာဏ သဲလွန်စများ ရှိနေခြင်းသည်ပင် ethane ကို hydrolysis ဖြစ်စေနိုင်သည်။ KH သို့မဟုတ် LiCl အညစ်အကြေးများရှိနေချိန်တွင်၊ ၎င်းသည် အခန်းအပူချိန်တွင် ဖြည်းညှင်းစွာ ဆွေးမြေ့သွားပါသည်။
Si2H6- → SiH4+(SiH2) x
Ethylsilane သည် ကာဗွန် disulfide၊ ethyl alcohol၊ benzene နှင့် ethyl silicic acid တို့တွင် ပျော်ဝင်ပါသည်။ ၎င်းသည် ရော်ဘာ၊ ထောပတ်၊ ချောဆီများ၊ ခဲ စသည်တို့ကို တိုက်စားစေသော်လည်း သတ္တုအများစုကို မတိုက်စားပါ။
အဓိကအသုံးပြုသည်။
1. ဆိုလာဆဲလ်များ၊ ဓါတ်ပြုလွယ်သော ရိုတာရီပြွန်များ၊ amorphous ဆီလီကွန်ရုပ်ရှင်များ၊ epitaxial ကြီးထွားမှု၊ အောက်ဆိုဒ်ရုပ်ရှင်များ၊ နိုက်ထရိုက်ရုပ်ရှင်များ၊ ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်းနှင့် အခြားနယ်ပယ်များတွင် အသုံးပြုသည်။ ဆိုလာဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်မှုတွင်၊ amorphous silicon wafers များပေါ်တွင် ethylene silane ၏ deposition rate သည် silane ထက် များစွာပိုမြန်ပြီး အပူချိန် 200-300 ℃ လျှော့ချနိုင်သည်။ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းတွင်၊ အိုင်းယွန်းရင်းမြစ်အဖြစ် ethane ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် တောက်ပလာနိုင်ပြီး ပိုမိုအားကောင်းသော အလင်းတန်းတစ်ခုပါရှိသောကြောင့် အခြားသောဓာတ်ငွေ့များကို အိုင်းယွန်းရင်းမြစ်များအဖြစ် အသုံးပြုခြင်းထက် သိသိသာသာရလဒ်ကောင်းများရရှိစေသည်။
2. ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနည်းပညာတွင်၊ ၎င်းကို epitaxial နှင့် diffusion လုပ်ငန်းစဉ်များအပြင် ဆိုလာဆဲလ်များနှင့် အီလက်ထရွန်းနစ်ဓာတ်ပုံရိုက်ရာတွင် အသုံးပြုသည့် photosensitive ဒရမ်များအတွက် အသုံးပြုသည်။
