ဓာတ်ငွေ့လေဆာများ၏ အရေးကြီးသောအင်္ဂါရပ်များထဲမှတစ်ခုမှာ lasing medium သည် ဓာတ်ငွေ့များရောနှောခြင်း သို့မဟုတ် သန့်စင်သောဓာတ်ငွေ့တစ်ခုတည်းဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့် လေဆာအရောအနှောဓာတ်ငွေ့၏ အစိတ်အပိုင်းများ သန့်ရှင်းမှုအတွက် အထူးလိုအပ်ချက်များ ရှိပြီး အရောအနှောဓာတ်ငွေ့ကို ထုပ်ပိုးရန်အတွက် အသုံးပြုသည့် သံမဏိဆလင်ဒါများကို အရောအနှောဓာတ်ငွေ့များ ညစ်ညမ်းမှုမှ ကာကွယ်ရန် မဖြည့်မီ အခြောက်ခံရပါမည်။ ဟီလီယမ်-နီယွန်လေဆာကို ဓာတ်ငွေ့လေဆာများ၏ ပထမမျိုးဆက်ဟု ယူဆပါက၊ ကာဗွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်လေဆာသည် ဒုတိယမျိုးဆက် ဓာတ်ငွေ့လေဆာများဖြစ်ပြီး၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ရေးတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုနေသည့် KrF လေဆာကို တတိယမျိုးဆက်လေဆာဟု ခေါ်ဆိုနိုင်သည်။